SP-0806ASI离子弧-磁控溅射复合镀膜机

离子镀/磁控溅射复合镀膜机设备型号为SP-0806ASI；该设备结合了HiPIMS及离子弧度技术，配备了HiPIMS溅射系统、离子源溅射源、磁过滤离子弧源及脉冲偏压系统。利用该设备，可采用HiPIMS技术、多弧离子镀技术及两者复合沉积技术研究多元金属氮化物硬质涂层、WS2润滑涂层等涂层体系的制备工艺。