MPCVD微波等离子系统是指微波等离子体化学气相沉积技术Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition)。该技术是一种用于在衬底上制备高品质薄膜的方法。它是在完全无压的环境下采用微波电磁场将低压甲烷等化学物质转化为等离子体，然后通过等离子体沉积在衬底表面。这种方法可以控制薄膜的厚度、组成、职向和晶格缺陷等性质。MPCVD方法被广泛应用于制备半导体材料、超导材料、光电材料等领域中。
