仪器型号：
德仪科技（北京）有限公司，DE500
多功能真空镀膜系统包括溅射腔体、电子束和热蒸发腔体以及样品室，样品可以在真空状态下在磁控溅射腔、蒸发腔和LOAD LOCK腔体间传送，通过电脑全自动控制或手动控制操作（整体操作或每个腔体独立工作）。采用机械手送样，换样时不破坏主真空室真空；配置3个2英寸强磁靶枪和1个热蒸发源，可实现磁控溅射镀膜和热蒸发镀膜；配备两台500W直流电源，一台300W射频电源；热蒸发最高温度可到达1500摄氏度；样品室退火温度可达1000摄氏度；主真空室的极限真空可达到5*10-8Torr，预真空室的真空度可达到6*10-6Torr；整机采用计算机+PLC全自动控制方式，实现智能化操作。
