原子力显微镜用于观察材料表面的形貌、端口，反映和表征构成材料的相和组织组成物、晶粒；还包括可能存在的亚晶、非金属夹杂物乃至某些晶体缺陷，例如位错的数量、形貌、大小、分布、取向、空间排布状态等。扫描模式：STM恒流/恒高模式，AFM接触/横向力/轻敲/相移模式； 分辨率：扫描隧道显微镜STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；接触模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；轻敲模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.1nm
