仪器型号：VZZ-300
功能：
金属薄膜制备：利用电阻加热使金属材料蒸发，在基片表面形成金属薄膜，可用于制备金、银、铝等金属薄膜，应用于电子器件、光学元件等领域。
有机薄膜制备：配备坩埚源或盒式源等适用于有机材料的蒸发源，可蒸镀有机材料，用于制备有机发光二极管（OLED）中的有机发光层、有机薄膜晶体管中的有机半导体层等。
